等離子處理裝置PCU-30的去污效果

發(fā)布日期：2022-10-24      瀏覽次數(shù)：777

等離子處理裝置PCU-30的去污效果

PCU-30 是一種從電子顯微鏡樣品觀察中去除污染物并提高分辨率和分析性能的設(shè)備。低功率射頻 13.56MHz 激發(fā)等離子體照射可實(shí)現(xiàn)抑制樣品損壞的高效清潔。
可以對(duì) TEM、SEM、FIB 樣品、樣品架和隔膜進(jìn)行防污染處理。腔室排氣是一個(gè)*清潔的排氣系統(tǒng)，帶有渦輪分子泵和渦旋泵。在產(chǎn)品設(shè)計(jì)中融入了緊湊、節(jié)省空間和簡(jiǎn)單的操作，是一款用戶友好型節(jié)能設(shè)備。
支持空氣、氬氣、氬氧和各種其他處理氣體。射頻供電功率最大小于50W，高頻供電無需上報(bào)。

在 SEM 觀察中不存在污染附著問題嗎？PCU-30 用于清潔樣品中的污染物并進(jìn)行重復(fù)觀察。
樣品：金沉積顆粒
SEM：Hitachi S-4100 (15KV)



SEM 觀察 電子束照射造成的污染和等離子照射造成的污染去除（第一次）。
（RF 激發(fā)的 Ar 等離子體，20 Pa/30 W/4 分鐘輻照）



SEM觀察 電子束照射污染的再沉積和等離子照射去除污染（第二次）。
（RF 激發(fā)的 Ar 等離子體，20 Pa/30 W/4 分鐘輻照）